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            AFXS直線電機(jī)平臺(tái)

            直線電機(jī)平臺(tái)用于晶圓、藍(lán)寶石等檢測(cè),由Akribis高性能無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng);XY軸采用交叉滾柱導(dǎo)軌,中空結(jié)構(gòu),內(nèi)置光柵系統(tǒng)。分辨率50nm,重復(fù)定位精度可達(dá)士0.75um,絕對(duì)定位精度2um;有效行程70*70mm,最大速度200mm/s;可定制。

            產(chǎn)品詳情

            Akribis雅科貝思直線電機(jī)平臺(tái)


            AFXS直線電機(jī)平臺(tái):參數(shù)



            X軸
            Y軸

            行程


            70mm70mm
            分辨率50nm50nm
            定位精度±2μm  ±2μm
            重復(fù)度±0.75 μm±0.75 μm
            平面度±3.5 μm
            直線度±3.5 μm
            最大速度200 mm/s
            建議負(fù)載重量< 1 Kg
            中空尺寸90 * 110 mm

            XY軸正交度

            10 arc sec


            AFXS直線電機(jī)平臺(tái)


            AFXS直線電機(jī)平臺(tái).

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